留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

红外双波段激光滤光膜的研制

宫大为 付秀华 耿似玉 杨道奇

宫大为, 付秀华, 耿似玉, 杨道奇. 红外双波段激光滤光膜的研制[J]. 中国光学(中英文), 2011, 4(3): 293-298.
引用本文: 宫大为, 付秀华, 耿似玉, 杨道奇. 红外双波段激光滤光膜的研制[J]. 中国光学(中英文), 2011, 4(3): 293-298.
GONG Da-wei, FU Xiu-hua, GENG Si-yu, YANG Dao-qi. Design and manufacture of infrared double waveband laser filter films[J]. Chinese Optics, 2011, 4(3): 293-298.
Citation: GONG Da-wei, FU Xiu-hua, GENG Si-yu, YANG Dao-qi. Design and manufacture of infrared double waveband laser filter films[J]. Chinese Optics, 2011, 4(3): 293-298.

红外双波段激光滤光膜的研制

详细信息
    作者简介:

    宫大为(1985— ),男,吉林四平人,硕士研究生,主要从事光学薄膜技术方面的研究。 E-mail:gongkenannan@sina.com 付秀华(1963—),女,山东滨州人,教授,主要从事光学薄膜技术及半导体激光器制造工艺方面的研究。 E-mail:goptics@126.com

    宫大为(1985— ),男,吉林四平人,硕士研究生,主要从事光学薄膜技术方面的研究。 E-mail:gongkenannan@sina.com 付秀华(1963—),女,山东滨州人,教授,主要从事光学薄膜技术及半导体激光器制造工艺方面的研究。 E-mail:goptics@126.com

  • 中图分类号: O484.1

Design and manufacture of infrared double waveband laser filter films

  • 摘要: 为了满足红外军用仪器的特殊要求,根据薄膜理论进行了红外双波段滤光膜的膜系设计;采用电子束真空镀膜的方法,通过对工艺参数的调整,在多光谱ZnS基底上镀制了1 064 nm高反、3~5 m高透的红外双波段滤光膜。利用低能离子轰击,使膜层与基底间的应力明显减小;使用BGS 6341薄膜应力测试仪,采用渐变梯度法,测得其压应力由122 MPa降到51 MPa。另外,通过低能离子轰击和真空退火处理,提高了膜层的抗损伤阈值。结果显示所镀膜层满足红外军用仪器的使用要求。

     

  • [1] 李隆,董武威,史彭,等. 激光二极管阵列侧泵浦Nd:YAG板条的热效应[J]. 光学 精密工程 ,2008,16(11):2120-2126. LI L,DONE W W,SHI P,et al.. Thermal effect of diode bar side-pumped Nd:YAG slab[J]. Opt. Precision Eng.,2008,16(11):2120-2126.(in Chinese) [2] MACLEOD H A. Thin-film Optical Filters[M]. 3rd ed. Philadelphia:Institute of Physics Publishing,2001. [3] 刘汉英,刘春明,肖志斌,等. 空间太阳电池用光学薄膜[J]. 光学仪器 ,2006,28(4):164-167. LIU H Y,LIU CH M,XIAO ZH B,et al.. Optical thin films for space solar cells[J]. Opt. Instruments, 2006,28(4):164-167.(in Chinese) [4] 付秀华,董连和,付新华,等. 红外增透与保护膜技术的研究[J]. 激光与红外 ,2006,36(12):1162-1164. FU X H,DONG L H,FU X H,et al.. Study of infrared AR and protecting coating technology[J]. Laser Infrared,2006, 36(12):1162-1164.(in Chinese) [5] 付秀华,姜会林,付新华,等. 多波段红外增透与保护膜技术的研究[J]. 兵工学报 ,2007,28(10):1183-1185. FU X H,JIANG H L,FU X H,et al.. Study of multi-waveband infrared antireflection and protection film[J]. Acta Armamentarii,2007,28(10):1183-1185.(in Chinese) [6] KENNEDY M,RISTAU D,NIEDERWALD H S. Ion beam-assisted deposition of MgF2 and YbF3 films[J]. Thin Solid Films,1998,333:191-195. [7] ZHANG CH,WANG Y T,LU W Q. Single-wavelength monitoring method for optical thin-film coating[J]. Opt. Eng.,2004,43(6):1439-1444. [8] MACLEOD H A. Optical thin film coating design[J]. SPIE,1996,2776:1-8. [9] SHEEHAN L M,KOZLOWSKI M R,RAINER F,et al.. Large-area conditioning of optics for high-power laser systems[J]. SPIE,1994,2114:559-568. [10] 潘奕捷,林家明,商庆坤,等. 光学低通滤波器的频率特性和光谱特性[J]. 光学技术 ,2005,31(4):513-515. PAN Y J,LIN J M,SHANG Q K,et al.. Frequency and spectrum characteristic of the optical low pass filter[J]. Opt. Technol.,2005,31(4):513-515.(in Chinese)
  • 加载中
计量
  • 文章访问数:  4751
  • HTML全文浏览量:  541
  • PDF下载量:  1501
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2011-02-21
  • 修回日期:  2011-04-23
  • 刊出日期:  2011-06-25

目录

    /

    返回文章
    返回

    重要通知

    2024年2月16日科睿唯安通过Blog宣布,2024年将要发布的JCR2023中,229个自然科学和社会科学学科将SCI/SSCI和ESCI期刊一起进行排名!《中国光学(中英文)》作为ESCI期刊将与全球SCI期刊共同排名!