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基于光束扫描宽化技术的激光掩模微加工系统

谢冀江 高飞 潘其坤 杨贵龙 邵春雷 张来明 郭劲

谢冀江, 高飞, 潘其坤, 杨贵龙, 邵春雷, 张来明, 郭劲. 基于光束扫描宽化技术的激光掩模微加工系统[J]. 中国光学, 2011, 4(6): 654-659.
引用本文: 谢冀江, 高飞, 潘其坤, 杨贵龙, 邵春雷, 张来明, 郭劲. 基于光束扫描宽化技术的激光掩模微加工系统[J]. 中国光学, 2011, 4(6): 654-659.
XIE Ji-jiang, GAO Fei, PAN Qi-kun, YANG Gui-long, SHAO Chun-lei, ZHANG Lai-ming, GUO Jin. Laser mask micromachining system based on beam-scanning widening technique[J]. Chinese Optics, 2011, 4(6): 654-659.
Citation: XIE Ji-jiang, GAO Fei, PAN Qi-kun, YANG Gui-long, SHAO Chun-lei, ZHANG Lai-ming, GUO Jin. Laser mask micromachining system based on beam-scanning widening technique[J]. Chinese Optics, 2011, 4(6): 654-659.

基于光束扫描宽化技术的激光掩模微加工系统

基金项目: 

中科院知识创新工程资助项目

详细信息
    作者简介:

    谢冀江(1959-),男,江苏镇江人,研究员,主要从事激光器及激光应用技术方面的研究。 E-mail:laserxjj@163.com 高 飞(1988-),男,山西朔州人,硕士研究生,主要从事激光器及激光应用技术方面的研究。 E-mail:gaofei0104@163.com 潘其坤(1985-),男,河南开封人,硕士研究生,主要从事激光器及激光应用技术方面的研究。 E-mail:panqikun2005@163.com

    谢冀江(1959-),男,江苏镇江人,研究员,主要从事激光器及激光应用技术方面的研究。 E-mail:laserxjj@163.com 高 飞(1988-),男,山西朔州人,硕士研究生,主要从事激光器及激光应用技术方面的研究。 E-mail:gaofei0104@163.com 潘其坤(1985-),男,河南开封人,硕士研究生,主要从事激光器及激光应用技术方面的研究。 E-mail:panqikun2005@163.com

  • 中图分类号: TN305.7

Laser mask micromachining system based on beam-scanning widening technique

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出版历程
  • 收稿日期:  2011-10-15
  • 修回日期:  2011-12-13
  • 刊出日期:  2011-12-25

基于光束扫描宽化技术的激光掩模微加工系统

    基金项目:

    中科院知识创新工程资助项目

    作者简介:

    谢冀江(1959-),男,江苏镇江人,研究员,主要从事激光器及激光应用技术方面的研究。 E-mail:laserxjj@163.com 高 飞(1988-),男,山西朔州人,硕士研究生,主要从事激光器及激光应用技术方面的研究。 E-mail:gaofei0104@163.com 潘其坤(1985-),男,河南开封人,硕士研究生,主要从事激光器及激光应用技术方面的研究。 E-mail:panqikun2005@163.com

    谢冀江(1959-),男,江苏镇江人,研究员,主要从事激光器及激光应用技术方面的研究。 E-mail:laserxjj@163.com 高 飞(1988-),男,山西朔州人,硕士研究生,主要从事激光器及激光应用技术方面的研究。 E-mail:gaofei0104@163.com 潘其坤(1985-),男,河南开封人,硕士研究生,主要从事激光器及激光应用技术方面的研究。 E-mail:panqikun2005@163.com

  • 中图分类号: TN305.7

摘要: 利用Nd∶KGW激光器,采用光束扫描宽化技术和掩模微缩成像方法研制了用于微打标及微型零件雕刻成形的激光掩模微加工系统。系统采用计算机打印的塑料胶片或液晶作掩模,光束扫描面积为(有效掩模面积)30 mm30 mm。微缩成像系统的缩小倍率分别为8~10倍(f=100 mm透镜)和15~20倍(f=50 mm透镜)。对该系统的加工尺寸和加工精度进行了分析。实验结果表明:系统达到的最小标刻宽度和加工图形精度均为10 m,与分析结果一致。系统的单次加工深度为0.07~0.1 m,最大加工深度为200 m,可满足工业微加工技术的基本要求。

English Abstract

谢冀江, 高飞, 潘其坤, 杨贵龙, 邵春雷, 张来明, 郭劲. 基于光束扫描宽化技术的激光掩模微加工系统[J]. 中国光学, 2011, 4(6): 654-659.
引用本文: 谢冀江, 高飞, 潘其坤, 杨贵龙, 邵春雷, 张来明, 郭劲. 基于光束扫描宽化技术的激光掩模微加工系统[J]. 中国光学, 2011, 4(6): 654-659.
XIE Ji-jiang, GAO Fei, PAN Qi-kun, YANG Gui-long, SHAO Chun-lei, ZHANG Lai-ming, GUO Jin. Laser mask micromachining system based on beam-scanning widening technique[J]. Chinese Optics, 2011, 4(6): 654-659.
Citation: XIE Ji-jiang, GAO Fei, PAN Qi-kun, YANG Gui-long, SHAO Chun-lei, ZHANG Lai-ming, GUO Jin. Laser mask micromachining system based on beam-scanning widening technique[J]. Chinese Optics, 2011, 4(6): 654-659.
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