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面阵CCD相机的飞秒激光损伤分析

王明 王挺峰 邵俊峰

王明, 王挺峰, 邵俊峰. 面阵CCD相机的飞秒激光损伤分析[J]. 中国光学(中英文), 2013, 6(1): 96-102. doi: 10.3788/CO.20130601.0096
引用本文: 王明, 王挺峰, 邵俊峰. 面阵CCD相机的飞秒激光损伤分析[J]. 中国光学(中英文), 2013, 6(1): 96-102. doi: 10.3788/CO.20130601.0096
WANG Ming, WANG Ting-feng, SHAO Jun-feng. Analysis of femtosecond laser induced damage to array CCD camera[J]. Chinese Optics, 2013, 6(1): 96-102. doi: 10.3788/CO.20130601.0096
Citation: WANG Ming, WANG Ting-feng, SHAO Jun-feng. Analysis of femtosecond laser induced damage to array CCD camera[J]. Chinese Optics, 2013, 6(1): 96-102. doi: 10.3788/CO.20130601.0096

面阵CCD相机的飞秒激光损伤分析

doi: 10.3788/CO.20130601.0096
基金项目: 

激光与物质相互作用国家重点实验室基金资助项目(No.SKLLIM1004-02)

详细信息
    作者简介:

    王 明(1986—),男,吉林伊通人,硕士研究生,2010年于吉林大学获得学士学位,主要从事激光应用相关的研究工作。E-mail:wm8607@yahoo.cn;王挺峰(1977—),男,山东文登人,博士,副研究员,硕士生导师,1999年于原吉林工业大学获得学士学位,2002年于吉林大学获得硕士学位,2005年于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所获得博士学位,主要从事激光应用技术方面的研究。E-mail:wtfeng@sina.com;邵俊峰(1984—),男,安徽宿州人,博士研究生,助理研究员,2006年于复旦大学获得学士学位,2009年于复旦大学获得硕士学位,主要从事激光辐照效应方面的研究。E-mail:shaojunfeng1984@163.com

    王 明(1986—),男,吉林伊通人,硕士研究生,2010年于吉林大学获得学士学位,主要从事激光应用相关的研究工作。E-mail:wm8607@yahoo.cn;王挺峰(1977—),男,山东文登人,博士,副研究员,硕士生导师,1999年于原吉林工业大学获得学士学位,2002年于吉林大学获得硕士学位,2005年于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所获得博士学位,主要从事激光应用技术方面的研究。E-mail:wtfeng@sina.com;邵俊峰(1984—),男,安徽宿州人,博士研究生,助理研究员,2006年于复旦大学获得学士学位,2009年于复旦大学获得硕士学位,主要从事激光辐照效应方面的研究。E-mail:shaojunfeng1984@163.com

    通讯作者:

    王挺峰

  • 中图分类号: TN249;V447.3

Analysis of femtosecond laser induced damage to array CCD camera

  • 摘要: 研究了飞秒激光对CCD相机的干扰和损伤效应。采用波长为800 nm,脉宽为100 fs,单脉冲能量为500 J的脉冲激光辐照行间转移型面阵CCD相机,测量了飞秒激光对CCD相机的损伤阈值。在逐步提高到达CCD靶面能量的过程中观察点损伤、线损伤和全靶面损伤等实验现象,得到了点损伤阈值为151.2 mJ/cm2,线损伤阈值为508.2 mJ/cm2,全靶面损伤阈值为5.91 J/cm2。测量了CCD在不同损伤情况下时钟信号线间及其与地间的电阻值,通过对比CCD损伤前后的电阻值,发现线损伤和全靶面损伤时CCD垂直转移时钟线间及其与地间的电阻值明显变小。最后分析讨论了损伤部位和损伤机理。

     

  • [1] ZHANG C Z,BLARRE L D,WALSER R M,et al.. Mechanism for laser-induced functional damage to silicon charge-coupled imaging sensors[J]. Appl. Opt.,1993,32(27):5201-5210. [2] 钟海荣,陆启生,文铁峰,等. 激光辐射CCD的破坏机理分析[J]. 强激光与粒子束,1988,10(4):537-542. ZHONG H R,LU Q SH,WEN T F,et al.. Review on the laser-induced damagemechanism of CCD detector[J]. High Power Laser and Particle Beams,1988,10(4):537-542.(in Chinese) [3] 倪晓武,陆建,贺安之. 激光对CCD器件破坏时几种阈值的测量[J]. 激光技术,1994,18(3):153-156. NI X W,LU J,HE A ZH. Measurement of laser damaging thresholds of CCD devices[J]. Laser Technology,1994,18(3):153-156.(in Chinese) [4] 钟海荣,刘天华,陆启生. 激光对光电探测器的破坏机理研究综述[J]. 强激光与粒子束,2000,12(4):423-428. ZHONG H R,LIU T H,LU Q SH. Review on the laser-include damage mechanism study of photoelectric detector[J]. High Power Laser and Particle Beams,2000,12(4):423-428.(in Chinese) [5] 江继军,罗福,陈建国. CCD在fs激光辐照下的损伤研究[J]. 强激光与粒子束,2005,17(4):515-517. JIANG J J,LUO F,CHEN J G. Research on femtosecond laser induced damage to CCD[J]. High Power Laser and Particle Beams,2005,17(4):515-517.(in Chinese) [6] 郭少锋,程湘爱,傅喜泉,等. 高重复频率飞秒激光对面阵CCD的干扰和破坏[J]. 强激光与粒子束,2007,19(11):1783-1786. GUO SH F,CHENG X A,FU X Q,et al.. Failure of array CCD irradiated by high-repetitive femto-second laser[J]. High Power Laser and Particle Beams,2007,19(11):1783-1786.(in Chinese) [7] 黄绍艳,张永生,唐本奇,等. 500 fs超短脉冲激光对CCD探测器的破坏效应[J]. 强激光与粒子束,2005,17(10):1145-1148. HUANG SH Y,ZHANG Y SH,TANG B Q,et al.. Damage effect on CCD detector irradiated by 500 fs laser pulse[J]. High Power Laser and Particle Beams,2005,17(10):1145-1148.(in Chinese) [8] 姜楠,张雏,牛燕雄,等. 脉冲激光辐照CCD探测器的硬破坏效应数值模拟研究[J]. 激光与红外,2008,38(10):1004-1007. JIANG N,ZHANG CH,NIU Y X,et al.. Numerical simulation of pulsed laser induced damage on CCD arrays[J]. Laser Infrared,2008,38(10):1004-1007.(in Chinese) [9] TIEN A C. Ultrafast electron dynamics in femtosecond laser dielectric breakdown[D].Ann Arbor:University of Michigan,1999. [10] 蔡跃,叶锡生,马志亮,等. 170 ps激光脉冲辐照可见光面阵Si-CCD的实验[J]. 光学 精密工程,2011,19(2):457-462. CAI Y,YE X SH,MA ZH L,et al.. Experiment of 170 ps laser pulse irradiation effect on visible plane array Si-CCD[J]. Opt. Precision Eng.,2011,19(2):457-462.(in Chinese) [11] 李文煜,王金宝,程湘爱,等. 激光对面阵CCD器件破坏的一种新机理[J]. 强激光与粒子束,2005,17(10):1457-1460. LI W Y,WANG J B,CHENG X A,et al.. New analysis on laser-induced damage mechanism of array CCD device[J]. High Power Laser and Particle Beams,2005,17(10):1457-1460.(in Chinese) [12] 沈红斌,沈学举,周冰,等. 532 nm脉冲激光辐照CCD实验研究[J]. 强激光与粒子束,2009,21(10):1449-1454. SHEN H B,SHEN X J,ZHOU B,et al.. Experimental study of 532 nm pulsed laser irradiating CCD[J]. High Power Laser and Particle Beams,2009,21(10):1449-1454.(in Chinese)
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出版历程
  • 收稿日期:  2012-09-15
  • 修回日期:  2012-11-13
  • 刊出日期:  2013-02-10

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