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标准镜的高精度柔性支撑镜框的优化设计

王平 田伟 王汝冬 王立朋 隋永新 杨怀江

王平, 田伟, 王汝冬, 王立朋, 隋永新, 杨怀江. 标准镜的高精度柔性支撑镜框的优化设计[J]. 中国光学(中英文), 2011, 4(4): 380-387.
引用本文: 王平, 田伟, 王汝冬, 王立朋, 隋永新, 杨怀江. 标准镜的高精度柔性支撑镜框的优化设计[J]. 中国光学(中英文), 2011, 4(4): 380-387.
WANG Ping, TIAN Wei, WANG Ru-dong, WANG Li-peng, SUI Yong-xin, YANG Huai-jiang. Optimized design of high precision flexure-support barrel for reference sphere[J]. Chinese Optics, 2011, 4(4): 380-387.
Citation: WANG Ping, TIAN Wei, WANG Ru-dong, WANG Li-peng, SUI Yong-xin, YANG Huai-jiang. Optimized design of high precision flexure-support barrel for reference sphere[J]. Chinese Optics, 2011, 4(4): 380-387.

标准镜的高精度柔性支撑镜框的优化设计

基金项目: 

国家科技重大专项02专项(2009ZX02205)

详细信息
  • 中图分类号: TH744.3; TH703

Optimized design of high precision flexure-support barrel for reference sphere

  • 摘要: 为了实现干涉仪标准镜中光学元件的高精度定位,设计了一种柔性支撑镜框,研究了该结构的力学模型、结构参数、定位精度和透镜变形。首先,根据材料力学原理将柔性镜框等效为一个弹簧系统;根据力学方程和几何关系,建立了透镜中心位置与柔性结构的挠度之间的二元方程。然后,分析了安装位置、温度、结构参数对透镜位置以及作用力的影响。最后,应用有限元仿真分析了所设计结构的力学性能,并进行对比验证。结果表明,数值仿真分析的结果与有限元仿真结果基本相同,柔性镜框的柔性结构厚度最优值为1.5 mm。该设计方案完全满足干涉仪标准镜对镜框在定位精度、稳定性方面的要求。

     

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出版历程
  • 收稿日期:  2011-04-11
  • 修回日期:  2011-08-13
  • 刊出日期:  2011-08-25

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