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纳米级面形精度光学平面镜加工

张峰

张峰. 纳米级面形精度光学平面镜加工[J]. 中国光学, 2014, 7(4): 616-621. doi: 10.3788/CO.20140704.0616
引用本文: 张峰. 纳米级面形精度光学平面镜加工[J]. 中国光学, 2014, 7(4): 616-621. doi: 10.3788/CO.20140704.0616
ZHANG Feng. Fabrication of optical flat mirror with nanometer surface error[J]. Chinese Optics, 2014, 7(4): 616-621. doi: 10.3788/CO.20140704.0616
Citation: ZHANG Feng. Fabrication of optical flat mirror with nanometer surface error[J]. Chinese Optics, 2014, 7(4): 616-621. doi: 10.3788/CO.20140704.0616

纳米级面形精度光学平面镜加工

doi: 10.3788/CO.20140704.0616
基金项目: 

国家自然科学基金资助项目(No.61210015)

详细信息
    作者简介:

    张峰(1969-),男,吉林省吉林市人,博士,研究员,博士生导师,1991年、1997年于长春理工大学(原长春光学精密机械学院)分别获得学士、硕士学位,2000年于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所获得博士学位,主要从事先进光学制造技术方面的研究。E-mail:zhangfjyz@sina.cn

    通讯作者: 张峰
  • 中图分类号: O439

Fabrication of optical flat mirror with nanometer surface error

  • 摘要: 为实现纳米级面形精度光学平面镜的高效精密抛光,提出了一种由传统环带抛光技术和先进离子束抛光技术相结合的组合式加工方法。介绍了环带抛光技术和离子束抛光技术的原理,通过实验研究了离子束抛光的材料去除函数,并采用这种组合抛光方法对口径为150 mm的平面镜进行抛光,抛光后平面镜的面形误差和表面粗糙度分别达到1.217 nm RMS和0.506 nm RMS。实验结果表明,这种组合抛光技术适合纳米级面形精度光学平面镜的加工。
  • [1]

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出版历程
  • 收稿日期:  2014-02-17
  • 修回日期:  2014-04-23
  • 刊出日期:  2014-07-25

纳米级面形精度光学平面镜加工

doi: 10.3788/CO.20140704.0616
    基金项目:

    国家自然科学基金资助项目(No.61210015)

    作者简介:

    张峰(1969-),男,吉林省吉林市人,博士,研究员,博士生导师,1991年、1997年于长春理工大学(原长春光学精密机械学院)分别获得学士、硕士学位,2000年于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所获得博士学位,主要从事先进光学制造技术方面的研究。E-mail:zhangfjyz@sina.cn

    通讯作者: 张峰
  • 中图分类号: O439

摘要: 为实现纳米级面形精度光学平面镜的高效精密抛光,提出了一种由传统环带抛光技术和先进离子束抛光技术相结合的组合式加工方法。介绍了环带抛光技术和离子束抛光技术的原理,通过实验研究了离子束抛光的材料去除函数,并采用这种组合抛光方法对口径为150 mm的平面镜进行抛光,抛光后平面镜的面形误差和表面粗糙度分别达到1.217 nm RMS和0.506 nm RMS。实验结果表明,这种组合抛光技术适合纳米级面形精度光学平面镜的加工。

English Abstract

张峰. 纳米级面形精度光学平面镜加工[J]. 中国光学, 2014, 7(4): 616-621. doi: 10.3788/CO.20140704.0616
引用本文: 张峰. 纳米级面形精度光学平面镜加工[J]. 中国光学, 2014, 7(4): 616-621. doi: 10.3788/CO.20140704.0616
ZHANG Feng. Fabrication of optical flat mirror with nanometer surface error[J]. Chinese Optics, 2014, 7(4): 616-621. doi: 10.3788/CO.20140704.0616
Citation: ZHANG Feng. Fabrication of optical flat mirror with nanometer surface error[J]. Chinese Optics, 2014, 7(4): 616-621. doi: 10.3788/CO.20140704.0616
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