留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

碳化硅凸非球面反射镜的加工与检测

李俊峰

李俊峰. 碳化硅凸非球面反射镜的加工与检测[J]. 中国光学, 2014, 7(2): 287-292. doi: 10.3788/CO.20140702.0287
引用本文: 李俊峰. 碳化硅凸非球面反射镜的加工与检测[J]. 中国光学, 2014, 7(2): 287-292. doi: 10.3788/CO.20140702.0287
LI Jun-feng. Fabrication and test of SiC convex aspheric mirror[J]. Chinese Optics, 2014, 7(2): 287-292. doi: 10.3788/CO.20140702.0287
Citation: LI Jun-feng. Fabrication and test of SiC convex aspheric mirror[J]. Chinese Optics, 2014, 7(2): 287-292. doi: 10.3788/CO.20140702.0287

碳化硅凸非球面反射镜的加工与检测

doi: 10.3788/CO.20140702.0287
基金项目: 

国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目

详细信息
    作者简介:

    李俊峰(1980-),男,吉林长春人,博士,副研究员,主要从事大口径非球面的加工与检测技术方面的研究。E-mail:ljf220@sohu.com

    通讯作者: 李俊峰,E-mail:ljf220@sohu.com
  • 中图分类号: TH706

Fabrication and test of SiC convex aspheric mirror

  • 摘要: 为了满足凸非球面反射镜加工中的全频段质量控制及光学参数的高精度检验,提出了应用双摆轴极坐标快速非球面加工技术及测杆法控制Hindle法检测光学参数。首先,描述了双摆轴极坐标快速非球面加工技术及设备;然后,介绍了应用测杆法控制Hindle检测法中标准球面镜顶点分别与被检非球面镜顶点及其焦点的光学间隔,并对其控制精度进行了分析;最后,针对158mm的凸非球面,给出了双摆轴加工的检验结果,并对检测精度进行了分析。实验结果表明:应用双摆轴加工工艺在使低频误差快速收敛的同时,可以有效抑制中频误差,其低频误差的控制精度可以稳定地达到/30(=633 nm);应用测杆装调Hindle检测光路的控制极限误差为0.065 mm,两个光学间隔参数的公差分别为0.22 mm和0.30 mm。应用双摆轴加工技术实现了凸非球面的快速加工与全频段质量控制,采用Hindle检测凸非球面得到面形精度为0.022(RMS,@633 nm),满足光学设计技术指标要求。
  • [1] 张景旭. 地基大口径望远镜系统结构技术综述[J]. 中国光学, 2012, 5(4): 327-336. ZHANG J X. Overview of structure technologies of large aperture ground-based telescopes[J]. Chinese Optics, 2012, 5(4):327-336.(in Chinese) [2] 张峰. 高精度离轴凸非球面的加工与检测[J]. 光学 精密工程, 2010, 18(12):2557-2563. ZHANG F. Fabrication and testing of precise off-axis convex aspheric mirror[J]. Opt. Precision Eng., 2010, 18(12):2557-2563.(in Chinese) [3] 薛栋林, 张忠玉, 郑立功, 等. 大口径碳化硅材料凸非球面反射镜的检验[J]. 光学 精密工程, 2008, 16(12):2491-2496. XUE D L, ZHANG ZH Y, ZHENG L G, et al.. Testing methods for large aperture convex SiC asphere mirror[J]. Opt. Precision Eng., 2008, 16(12):2491-2496.(in Chinese) [4] 王孝坤. 大口径凸非球面反射镜子孔径拼接检测[J]. 红外与激光工程, 2013, 42(3):716-722. WANG X K. Test on large convex aspherical mirror by subaperture stitching interferometry[J]. Infrared and Laser Eng., 2013, 42(3):716-722.(in Chinese) [5] 王孝坤. 非零位检测凸非球面反射镜的研究[J]. 应用光学, 2012, 33(1):124-128. WANG X K. Measurement of convex aspheric mirror by non-null testing[J]. J. Appl. Optics, 2012, 33(1):124-128.(in Chinese) [6] 马杰, 朱政. 改进的Hindle方法检测凸非球面的研究[J]. 红外与激光工程, 2011, 40(2):277-281. MA J, ZHU ZH. Testing convex aspherical surfaces with optimized modified Hindle arrangement[J]. Infrared and Laser Eng., 2011, 40(2):277-281.(in Chinese) [7] 李洋, 李新南. 极大口径光学望远镜凸非球面副镜的补偿检测法研究[J]. 应用光学, 2012, 33(3):564-569. LI Y, LI X N. Null compensator for convex secondary asphere of very large optical telescope[J]. J. Appl. Optics, 2012, 33(3):564-569.(in Chinese) [8] 王孝坤. 子孔径拼接检测非球面时调整误差的补偿[J]. 中国光学, 2013, 6(1):88-95. WANG X K. Compensation of misalignment error on testing aspheric surface by subaperture stitching interferometry[J]. Chinese Optics, 2013, 6(1):88-95.(in Chinese) [9] 沈正祥, 郝沛明, 赵文才, 等. 凸二次非球面反射镜的自准法检验[J]. 红外与激光工程, 2005, 34(1):46-50. SHEN ZH X, HAO P M, ZHAO W C, et al.. Autocollimating testing of convex conic aspheric surface[J]. Infrared and Laser Eng., 2005, 34(1):46-50.(in Chinese) [10] XUAN B, CHEN X P, WANG P, et al.. Alignment of off-axis asphere and compensator with four poles[J]. SPIE, 2009, 7283:7283A.
  • [1] 罗敬, 张晓辉, 何煦, 叶露, 张天一.  自准直仪光电探测器失调对测角的影响 . 中国光学, 2020, 13(3): 558-567. doi: 10.3788/CO.2019-0207
    [2] 李昂, 王永刚, 邬志强, 张继友.  光学加工过程中高次非球面的三坐标测量数据处理 . 中国光学, 2020, 13(2): 302-312. doi: 10.3788/CO.20201302.0302
    [3] 张海东, 王孝坤, 薛栋林, 张学军.  一种针对超大口径凸非球面的面形检测方法 . 中国光学, 2019, 12(5): 1147-1154. doi: 10.3788/CO.20191205.1147
    [4] 徐依雯, 张运海, 杨皓旻, 刘创, 唐玉国.  长时程双光子成像技术 . 中国光学, 2018, 11(3): 337-343. doi: 10.3788/CO.20181103.0337
    [5] 闫公敬, 张宪忠.  非零位凸非球面子孔径拼接检测技术研究 . 中国光学, 2018, 11(5): 798-803. doi: 10.3788/CO.20181105.0798
    [6] 高松涛, 武东城, 苗二龙.  大偏离度非球面检测畸变校正方法 . 中国光学, 2017, 10(3): 383-390. doi: 10.3788/CO.20171003.0383
    [7] 戚子文, 刘炳国, 张仲海, 卢丙辉, 刘国栋.  双点干涉法位相缺陷检测中的解相算法比较 . 中国光学, 2016, 9(4): 483-490. doi: 10.3788/CO.20160904.0483
    [8] 王孝坤.  大口径离轴凸非球面系统拼接检验技术 . 中国光学, 2016, 9(1): 130-136. doi: 10.3788/CO.20160901.0130
    [9] 徐乐, 张春雷, 代雷, 张健.  高精度非回转对称非球面加工方法研究 . 中国光学, 2016, 9(3): 364-370. doi: 10.3788/CO.20160903.0364
    [10] 黄龙, 潘年, 马文礼, 黄金龙.  拼接式编码器测角误差分析及试验 . 中国光学, 2015, 8(3): 464-470. doi: 10.3788/CO.20150803.0464
    [11] 刘怡轩, 颜昌翔.  在线式分光测色仪发展现状 . 中国光学, 2014, 7(5): 712-722. doi: 10.3788/CO.20140705.0712
    [12] 秦华, 冯东太, 葛硕硕, 王勇.  组合非球面太阳能聚光镜的光学设计 . 中国光学, 2014, 7(5): 844-854. doi: 10.3788/CO.20140705.0844
    [13] 师途, 杨甬英, 张磊, 刘东.  非球面光学元件的面形检测技术 . 中国光学, 2014, 7(1): 26-46. doi: 10.3788/CO.20140701.026
    [14] 宋淑梅.  矩形离轴非球面反射镜双摆法加工与检测 . 中国光学, 2014, 7(6): 975-981. doi: 10.3788/CO.20140706.0975
    [15] 潘年, 马文礼.  拼接式钢带光栅编码器测角误差分析与修正 . 中国光学, 2013, 6(5): 788-794. doi: 10.3788/CO.20130605.0788
    [16] 李丽, 王灿召, 谢亚峰, 董光焰.  扫描式测风激光雷达的风场反演 . 中国光学, 2013, 6(2): 251-258. doi: 10.3788/CO.20130602.0251
    [17] 葛婧菁.  便携式双波段荧光眼底血管造影仪的光学设计 . 中国光学, 2013, 6(2): 223-230. doi: 10.3788/CO.20130602.0223
    [18] 王孝坤.  子孔径拼接检测非球面时调整误差的补偿 . 中国光学, 2013, 6(1): 88-95. doi: 10.3788/CO.20130601.0088
    [19] 莫卫东, 范琦, 贾晋超, 张海防, 冯明德, 杨百遇, 李均盛.  非球面检测中最佳入射球面波和最佳参考球面波的确定 . 中国光学, 2012, 5(3): 263-269. doi: 10.3788/CO.20120503.0263
    [20] 刘磊.  轻型高稳定性离轴非球面平行光管设计 . 中国光学, 2011, 4(6): 588-593.
  • 加载中
计量
  • 文章访问数:  523
  • HTML全文浏览量:  12
  • PDF下载量:  595
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2013-11-18
  • 修回日期:  2014-02-15
  • 刊出日期:  2014-03-25

碳化硅凸非球面反射镜的加工与检测

doi: 10.3788/CO.20140702.0287
    基金项目:

    国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目

    作者简介:

    李俊峰(1980-),男,吉林长春人,博士,副研究员,主要从事大口径非球面的加工与检测技术方面的研究。E-mail:ljf220@sohu.com

    通讯作者: 李俊峰,E-mail:ljf220@sohu.com
  • 中图分类号: TH706

摘要: 为了满足凸非球面反射镜加工中的全频段质量控制及光学参数的高精度检验,提出了应用双摆轴极坐标快速非球面加工技术及测杆法控制Hindle法检测光学参数。首先,描述了双摆轴极坐标快速非球面加工技术及设备;然后,介绍了应用测杆法控制Hindle检测法中标准球面镜顶点分别与被检非球面镜顶点及其焦点的光学间隔,并对其控制精度进行了分析;最后,针对158mm的凸非球面,给出了双摆轴加工的检验结果,并对检测精度进行了分析。实验结果表明:应用双摆轴加工工艺在使低频误差快速收敛的同时,可以有效抑制中频误差,其低频误差的控制精度可以稳定地达到/30(=633 nm);应用测杆装调Hindle检测光路的控制极限误差为0.065 mm,两个光学间隔参数的公差分别为0.22 mm和0.30 mm。应用双摆轴加工技术实现了凸非球面的快速加工与全频段质量控制,采用Hindle检测凸非球面得到面形精度为0.022(RMS,@633 nm),满足光学设计技术指标要求。

English Abstract

李俊峰. 碳化硅凸非球面反射镜的加工与检测[J]. 中国光学, 2014, 7(2): 287-292. doi: 10.3788/CO.20140702.0287
引用本文: 李俊峰. 碳化硅凸非球面反射镜的加工与检测[J]. 中国光学, 2014, 7(2): 287-292. doi: 10.3788/CO.20140702.0287
LI Jun-feng. Fabrication and test of SiC convex aspheric mirror[J]. Chinese Optics, 2014, 7(2): 287-292. doi: 10.3788/CO.20140702.0287
Citation: LI Jun-feng. Fabrication and test of SiC convex aspheric mirror[J]. Chinese Optics, 2014, 7(2): 287-292. doi: 10.3788/CO.20140702.0287
参考文献 (1)

目录

    /

    返回文章
    返回