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平面光波导生物传感器微流通道的不可逆封合

李明宇 薛懿 罗根 张超

李明宇, 薛懿, 罗根, 张超. 平面光波导生物传感器微流通道的不可逆封合[J]. 中国光学, 2013, 6(1): 103-110. doi: 10.3788/CO.20130601.0103
引用本文: 李明宇, 薛懿, 罗根, 张超. 平面光波导生物传感器微流通道的不可逆封合[J]. 中国光学, 2013, 6(1): 103-110. doi: 10.3788/CO.20130601.0103
LI Ming-yu, XUE Yi, LUO Gen, ZHANG Chao. Irreversible adherence of micro-fluidic channel of bio-sensor on slab optical waveguide[J]. Chinese Optics, 2013, 6(1): 103-110. doi: 10.3788/CO.20130601.0103
Citation: LI Ming-yu, XUE Yi, LUO Gen, ZHANG Chao. Irreversible adherence of micro-fluidic channel of bio-sensor on slab optical waveguide[J]. Chinese Optics, 2013, 6(1): 103-110. doi: 10.3788/CO.20130601.0103

平面光波导生物传感器微流通道的不可逆封合

doi: 10.3788/CO.20130601.0103
基金项目: 

中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(No.2012QNA5015)

详细信息
    作者简介:

    李明宇(1978—),男,吉林长春人,博士,副教授,硕士生导师,2001年于浙江大学获得学士学位,2006年于浙江大学获得博士学位,主要从事集成光学传感器方面的研究。E-mail:limy@zju.edu.cn;薛懿(1990—),女,山西太原人,本科生,将于2013年6月于浙江大学获得学士学位,主要从事微电子制造系统的研究。E-mail:3090100829@zju.edu.cn;罗根(1991—),男,辽宁铁岭人,本科生,将于2013年6月于浙江大学获得学士学位,主要从事光通信信道编码方向的研究。E-mail:hidden.luo@yahoo.cn;张 超(1990—),男,山西太原人,将于2013年6月于浙江大学获得学士学位,主要从事光网络方面的研究。E-mail:zhangchao3487@sina.com

    李明宇(1978—),男,吉林长春人,博士,副教授,硕士生导师,2001年于浙江大学获得学士学位,2006年于浙江大学获得博士学位,主要从事集成光学传感器方面的研究。E-mail:limy@zju.edu.cn;薛懿(1990—),女,山西太原人,本科生,将于2013年6月于浙江大学获得学士学位,主要从事微电子制造系统的研究。E-mail:3090100829@zju.edu.cn;罗根(1991—),男,辽宁铁岭人,本科生,将于2013年6月于浙江大学获得学士学位,主要从事光通信信道编码方向的研究。E-mail:hidden.luo@yahoo.cn;张 超(1990—),男,山西太原人,将于2013年6月于浙江大学获得学士学位,主要从事光网络方面的研究。E-mail:zhangchao3487@sina.com

    李明宇(1978—),男,吉林长春人,博士,副教授,硕士生导师,2001年于浙江大学获得学士学位,2006年于浙江大学获得博士学位,主要从事集成光学传感器方面的研究。E-mail:limy@zju.edu.cn;薛懿(1990—),女,山西太原人,本科生,将于2013年6月于浙江大学获得学士学位,主要从事微电子制造系统的研究。E-mail:3090100829@zju.edu.cn;罗根(1991—),男,辽宁铁岭人,本科生,将于2013年6月于浙江大学获得学士学位,主要从事光通信信道编码方向的研究。E-mail:hidden.luo@yahoo.cn;张 超(1990—),男,山西太原人,将于2013年6月于浙江大学获得学士学位,主要从事光网络方面的研究。E-mail:zhangchao3487@sina.com

    通讯作者: 李明宇
  • 中图分类号: TN252;TP212.3

Irreversible adherence of micro-fluidic channel of bio-sensor on slab optical waveguide

  • 摘要: 提出采用不可逆封合技术来解决可逆封合的平面光波导生物传感器的微流通道在注入液体压力较大时会出现漏液的问题。分别采用等离子体法、氧化法、紫外灯照射法和紫外胶法实现了聚二甲基硅氧烷(PDMS)和绝缘材料上的硅(SOI)波导的不可逆封合。首先,采用4种实验方案分别处理PDMS和SOI波导表面,测试了经上述几种方法处理后微流通道与波导的粘合能力的强弱。然后,定量分析PDMS和SOI波导的封合效果。最后,经过实验比较得出用等离子体处理PDMS和SOI波导表面得到的不可逆封合效果最好的结论。文中也讨论了其他实验因素对粘合程度的影响。
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出版历程
  • 收稿日期:  2012-09-12
  • 修回日期:  2012-11-15
  • 刊出日期:  2013-02-10

平面光波导生物传感器微流通道的不可逆封合

doi: 10.3788/CO.20130601.0103
    基金项目:

    中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(No.2012QNA5015)

    作者简介:

    李明宇(1978—),男,吉林长春人,博士,副教授,硕士生导师,2001年于浙江大学获得学士学位,2006年于浙江大学获得博士学位,主要从事集成光学传感器方面的研究。E-mail:limy@zju.edu.cn;薛懿(1990—),女,山西太原人,本科生,将于2013年6月于浙江大学获得学士学位,主要从事微电子制造系统的研究。E-mail:3090100829@zju.edu.cn;罗根(1991—),男,辽宁铁岭人,本科生,将于2013年6月于浙江大学获得学士学位,主要从事光通信信道编码方向的研究。E-mail:hidden.luo@yahoo.cn;张 超(1990—),男,山西太原人,将于2013年6月于浙江大学获得学士学位,主要从事光网络方面的研究。E-mail:zhangchao3487@sina.com

    李明宇(1978—),男,吉林长春人,博士,副教授,硕士生导师,2001年于浙江大学获得学士学位,2006年于浙江大学获得博士学位,主要从事集成光学传感器方面的研究。E-mail:limy@zju.edu.cn;薛懿(1990—),女,山西太原人,本科生,将于2013年6月于浙江大学获得学士学位,主要从事微电子制造系统的研究。E-mail:3090100829@zju.edu.cn;罗根(1991—),男,辽宁铁岭人,本科生,将于2013年6月于浙江大学获得学士学位,主要从事光通信信道编码方向的研究。E-mail:hidden.luo@yahoo.cn;张 超(1990—),男,山西太原人,将于2013年6月于浙江大学获得学士学位,主要从事光网络方面的研究。E-mail:zhangchao3487@sina.com

    李明宇(1978—),男,吉林长春人,博士,副教授,硕士生导师,2001年于浙江大学获得学士学位,2006年于浙江大学获得博士学位,主要从事集成光学传感器方面的研究。E-mail:limy@zju.edu.cn;薛懿(1990—),女,山西太原人,本科生,将于2013年6月于浙江大学获得学士学位,主要从事微电子制造系统的研究。E-mail:3090100829@zju.edu.cn;罗根(1991—),男,辽宁铁岭人,本科生,将于2013年6月于浙江大学获得学士学位,主要从事光通信信道编码方向的研究。E-mail:hidden.luo@yahoo.cn;张 超(1990—),男,山西太原人,将于2013年6月于浙江大学获得学士学位,主要从事光网络方面的研究。E-mail:zhangchao3487@sina.com

    通讯作者: 李明宇
  • 中图分类号: TN252;TP212.3

摘要: 提出采用不可逆封合技术来解决可逆封合的平面光波导生物传感器的微流通道在注入液体压力较大时会出现漏液的问题。分别采用等离子体法、氧化法、紫外灯照射法和紫外胶法实现了聚二甲基硅氧烷(PDMS)和绝缘材料上的硅(SOI)波导的不可逆封合。首先,采用4种实验方案分别处理PDMS和SOI波导表面,测试了经上述几种方法处理后微流通道与波导的粘合能力的强弱。然后,定量分析PDMS和SOI波导的封合效果。最后,经过实验比较得出用等离子体处理PDMS和SOI波导表面得到的不可逆封合效果最好的结论。文中也讨论了其他实验因素对粘合程度的影响。

English Abstract

李明宇, 薛懿, 罗根, 张超. 平面光波导生物传感器微流通道的不可逆封合[J]. 中国光学, 2013, 6(1): 103-110. doi: 10.3788/CO.20130601.0103
引用本文: 李明宇, 薛懿, 罗根, 张超. 平面光波导生物传感器微流通道的不可逆封合[J]. 中国光学, 2013, 6(1): 103-110. doi: 10.3788/CO.20130601.0103
LI Ming-yu, XUE Yi, LUO Gen, ZHANG Chao. Irreversible adherence of micro-fluidic channel of bio-sensor on slab optical waveguide[J]. Chinese Optics, 2013, 6(1): 103-110. doi: 10.3788/CO.20130601.0103
Citation: LI Ming-yu, XUE Yi, LUO Gen, ZHANG Chao. Irreversible adherence of micro-fluidic channel of bio-sensor on slab optical waveguide[J]. Chinese Optics, 2013, 6(1): 103-110. doi: 10.3788/CO.20130601.0103
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