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子孔径拼接检测非球面时调整误差的补偿

王孝坤

王孝坤. 子孔径拼接检测非球面时调整误差的补偿[J]. 中国光学, 2013, 6(1): 88-95. doi: 10.3788/CO.20130601.0088
引用本文: 王孝坤. 子孔径拼接检测非球面时调整误差的补偿[J]. 中国光学, 2013, 6(1): 88-95. doi: 10.3788/CO.20130601.0088
WANG Xiao-kun. Compensation of misalignment error on testing aspheric surface by subaperture stitching interferometry[J]. Chinese Optics, 2013, 6(1): 88-95. doi: 10.3788/CO.20130601.0088
Citation: WANG Xiao-kun. Compensation of misalignment error on testing aspheric surface by subaperture stitching interferometry[J]. Chinese Optics, 2013, 6(1): 88-95. doi: 10.3788/CO.20130601.0088

子孔径拼接检测非球面时调整误差的补偿

doi: 10.3788/CO.20130601.0088
基金项目: 

国家863高技术研究发展计划资助项目(No.08663NJ090);国家自然科学基金重点项目(No.61036015)

详细信息
    作者简介:

    王孝坤(1980—),男,江苏丹阳人,博士,副研究员,硕士生导师,2003年于徐州师范大学获得学士学位,2008年于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所获得博士学位,主要从事先进光学制造技术等方面的研究。E-mail:jimwxk@sohu.com

    通讯作者:

    王孝坤

  • 中图分类号: TQ171.65;O436.1

Compensation of misalignment error on testing aspheric surface by subaperture stitching interferometry

  • 摘要: 针对在子孔径拼接测量非球面的过程中干涉仪与待测非球面相对位置存在的对准误差,提出了一种基于模式搜索迭代算法的调整误差补偿方法。该方法可以很好地从测量的子孔径相位数据中消除由拼接测量位置没有对准带来的调整误差,实现多个子孔径的精确拼接。对该方法的基本原理和实现步骤进行了分析和研究,建立了子孔径拼接测量的调整误差补偿模型。对口径为230 mm141 mm的离轴碳化硅非球面反射镜进行了调整误差补偿和相位数据拼接,得到了精确的全口径面形分布。作为验证,对待测非球面进行了零位补偿检测,结果显示两种测试方法的面形PV值和RMS值的相对偏差仅为0.57%和2.74%。
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出版历程
  • 收稿日期:  2012-09-14
  • 修回日期:  2012-11-13
  • 刊出日期:  2013-02-10

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