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投影物镜小比率模型的计算机辅助装调

赵阳 巩岩

赵阳, 巩岩. 投影物镜小比率模型的计算机辅助装调[J]. 中国光学(中英文), 2012, 5(4): 394-400. doi: 10.3788/CO.20120504.0394
引用本文: 赵阳, 巩岩. 投影物镜小比率模型的计算机辅助装调[J]. 中国光学(中英文), 2012, 5(4): 394-400. doi: 10.3788/CO.20120504.0394
ZHAO Yang, GONG Yan. Computer aided alignment of small scale projected objective[J]. Chinese Optics, 2012, 5(4): 394-400. doi: 10.3788/CO.20120504.0394
Citation: ZHAO Yang, GONG Yan. Computer aided alignment of small scale projected objective[J]. Chinese Optics, 2012, 5(4): 394-400. doi: 10.3788/CO.20120504.0394

投影物镜小比率模型的计算机辅助装调

doi: 10.3788/CO.20120504.0394
基金项目: 

国家自然科学基金资助项目(No.40974110)

详细信息
    通讯作者:

    赵阳

  • 中图分类号: O435.2;TP391.7

Computer aided alignment of small scale projected objective

  • 摘要: 针对小比率模型光学系统光学元件数量较多,无法用每个补偿量去补偿对应失调量的问题,提出利用计算机辅助装调方法,通过建立系统的灵敏度矩阵找出偏心失调量和倾斜失调量的内在联系来缩小补偿量的选择范围。根据失调量敏感度的分析,提出了只用4个补偿量补偿系统波像差的想法,并对所选补偿参量的补偿效果进行仿真,以此近一步验证想法的可行性。光学系统初装完成后,将实际测得的系统波像差以36项Fringe Zernike多项式的形式代入灵敏度矩阵,计算得到补偿参量的补偿值和移动方向,用驱动器实现像质补偿。实验结果表明:系统波像差(RMS)由50.864 nm提高到25.993 nm,优于技术指标要求,证明了所选的4个补偿量的正确性和有效性。

     

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出版历程
  • 收稿日期:  2012-03-21
  • 修回日期:  2012-06-23
  • 刊出日期:  2012-08-10

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