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Modeling and Sliding Mode Control Based on Inverse Compensation of Piezo-positioning System

智斌 李 源泽 辛 建强 张 崇尚 孙

智斌 李, 源泽 辛, 建强 张, 崇尚 孙. Modeling and Sliding Mode Control Based on Inverse Compensation of Piezo-positioning System[J]. Chinese Optics. doi: 10.37188/CO.2024-0012
Citation: 智斌 李, 源泽 辛, 建强 张, 崇尚 孙. Modeling and Sliding Mode Control Based on Inverse Compensation of Piezo-positioning System[J]. Chinese Optics. doi: 10.37188/CO.2024-0012

Modeling and Sliding Mode Control Based on Inverse Compensation of Piezo-positioning System

doi: 10.37188/CO.2024-0012
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出版历程
  • 收稿日期:  2024-04-08
  • 修回日期:  2024-05-12
  • 录用日期:  2024-05-15
  • 网络出版日期:  2024-05-25

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