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光刻投影物镜光学元件运动学支撑结构的设计与分析

倪明阳 巩岩

倪明阳, 巩岩. 光刻投影物镜光学元件运动学支撑结构的设计与分析[J]. 中国光学, 2012, 5(5): 476-484. doi: 10.3788/CO.20120505.0476
引用本文: 倪明阳, 巩岩. 光刻投影物镜光学元件运动学支撑结构的设计与分析[J]. 中国光学, 2012, 5(5): 476-484. doi: 10.3788/CO.20120505.0476
NI Ming-yang, GONG Yan. Design and analysis of kinematic lens positioning structure in lithographic projection objective[J]. Chinese Optics, 2012, 5(5): 476-484. doi: 10.3788/CO.20120505.0476
Citation: NI Ming-yang, GONG Yan. Design and analysis of kinematic lens positioning structure in lithographic projection objective[J]. Chinese Optics, 2012, 5(5): 476-484. doi: 10.3788/CO.20120505.0476

光刻投影物镜光学元件运动学支撑结构的设计与分析

doi: 10.3788/CO.20120505.0476
基金项目: 

国家科技重大专项02专项资助项目(No.2009ZX02005)

详细信息
    作者简介:

    倪明阳(1985-),男,山东菏泽人,硕士,助理研究员,主要从事光刻投影物镜精密光机结构设计与装调等方面的研究。E-mail:mingyang.neal@gmail.com 巩 岩(1968-),男,吉林梅河口人,博士,研究员,博士生导师,主要从事短波光学、光学系统光机集成设计、高精度光学系统装调技术等方面的研究。E-mail:gongy@sklao.ac.cn

    通讯作者: 倪明阳
  • 中图分类号: TN305.7

Design and analysis of kinematic lens positioning structure in lithographic projection objective

  • 摘要: 为了实现曝光工作过程中深紫外投影光刻物镜的动态稳定性,设计了一种能够消除温度和应变影响的光学元件运动学支撑结构,研究了如何利用该支撑结构消除温度变化和外界应变对光学元件面形的影响。首先,计算单个支座的径向柔度,并与有限元分析结果进行比较。然后,分析在不同温度载荷和外界应变工况下光学元件上、下表面面形的变化,并与三点胶粘固定支撑方式下的结果进行了比较。计算结果表明:通过理论公式推导的支座径向柔度与仿真结果的误差绝对值小于2.2%;温度升高0.1 ℃时光学元件上下表面面形RMS值小于0.36 nm;平面度公差5 m时面形RMS值小于0.05 nm。与三点胶粘固定方式相比,运动学支撑方式能够有效消除温度变化和外界应变对光学元件表面面形的影响。
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出版历程
  • 收稿日期:  2012-05-15
  • 修回日期:  2012-08-13
  • 刊出日期:  2012-10-10

光刻投影物镜光学元件运动学支撑结构的设计与分析

doi: 10.3788/CO.20120505.0476
    基金项目:

    国家科技重大专项02专项资助项目(No.2009ZX02005)

    作者简介:

    倪明阳(1985-),男,山东菏泽人,硕士,助理研究员,主要从事光刻投影物镜精密光机结构设计与装调等方面的研究。E-mail:mingyang.neal@gmail.com 巩 岩(1968-),男,吉林梅河口人,博士,研究员,博士生导师,主要从事短波光学、光学系统光机集成设计、高精度光学系统装调技术等方面的研究。E-mail:gongy@sklao.ac.cn

    通讯作者: 倪明阳
  • 中图分类号: TN305.7

摘要: 为了实现曝光工作过程中深紫外投影光刻物镜的动态稳定性,设计了一种能够消除温度和应变影响的光学元件运动学支撑结构,研究了如何利用该支撑结构消除温度变化和外界应变对光学元件面形的影响。首先,计算单个支座的径向柔度,并与有限元分析结果进行比较。然后,分析在不同温度载荷和外界应变工况下光学元件上、下表面面形的变化,并与三点胶粘固定支撑方式下的结果进行了比较。计算结果表明:通过理论公式推导的支座径向柔度与仿真结果的误差绝对值小于2.2%;温度升高0.1 ℃时光学元件上下表面面形RMS值小于0.36 nm;平面度公差5 m时面形RMS值小于0.05 nm。与三点胶粘固定方式相比,运动学支撑方式能够有效消除温度变化和外界应变对光学元件表面面形的影响。

English Abstract

倪明阳, 巩岩. 光刻投影物镜光学元件运动学支撑结构的设计与分析[J]. 中国光学, 2012, 5(5): 476-484. doi: 10.3788/CO.20120505.0476
引用本文: 倪明阳, 巩岩. 光刻投影物镜光学元件运动学支撑结构的设计与分析[J]. 中国光学, 2012, 5(5): 476-484. doi: 10.3788/CO.20120505.0476
NI Ming-yang, GONG Yan. Design and analysis of kinematic lens positioning structure in lithographic projection objective[J]. Chinese Optics, 2012, 5(5): 476-484. doi: 10.3788/CO.20120505.0476
Citation: NI Ming-yang, GONG Yan. Design and analysis of kinematic lens positioning structure in lithographic projection objective[J]. Chinese Optics, 2012, 5(5): 476-484. doi: 10.3788/CO.20120505.0476
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